Kompania jonë ka zhvilluar metalizues vakumi me spërkatje magnetronike me rrotullim në rrotull
Cili është parimi i funksionimit të makinës së metalizimit me vakum të tipit me spërkatje magnetronike nga rrotull në rrotull?
Makineritë e metalizimit në vakum të tipit me spërkatje magnetronike mbështeten në bashkëveprimin midis fushave elektrike, fushave magnetike dhe grimcave të gazit jonizues për të bombarduar materialin nga një objektiv i ngurtë (burimi i veshjes) mbi një substrat.
Kur dhoma e vakumit evakuohet në një mjedis me vakum të lartë, injektoni një gaz inert në dhomë, zakonisht argon (Ar). Një furnizim me energji DC me tension të lartë aplikohet midis një objektivi katodik (materiali që do të depozitohet) dhe anodës. Tensioni jonizon atomet e argonit, duke zhveshur elektronet për të krijuar një plazmë të joneve të argonit të ngarkuar pozitivisht (Ar⁺) dhe elektroneve të lira.
Jonet e argonit (Ar⁺) në plazmë përshpejtohen nga fusha elektrike drejt objektivit të ngarkuar negativisht. Kur jonet përplasen me objektivin, ato transferojnë impulsin te atomet e tij duke i nxjerrë ato në fazën e avullit. Këto atome të objektivit të nxjerrë më pas udhëtojnë dhe kondensohen në substrat, duke formuar një film të hollë uniform, të dendur dhe ngjitës.
Karakteristika kryesore e spërkatjes me magnetron qëndron në përdorimin e një fushe magnetike, të prodhuar nga magnete të vendosura pas objektivit. Kjo fushë magnetike bllokon elektronet pranë sipërfaqes së objektivit, duke i detyruar ato të ndjekin shtigje helikoidale. Ky kufizim rrit probabilitetin e përplasjes elektron-jon, duke rritur dendësinë e plazmës dhe efikasitetin e jonizimit. Si rezultat, një fluks më i lartë jonesh godet objektivin, duke rritur ndjeshëm shkallën e spërkatjes krahasuar me metodat konvencionale të spërkatjes.
Cilat janë avantazhet e spërkatjes me magnetron?
Filma me cilësi të lartë: Prodhon filma të dendur, me defekte të ulëta dhe uniformë me ngjitje të shkëlqyer për shkak të shkallës së lartë të depozitimit.
Shumëllojshmëria e materialit: I pajtueshëm me metale, lidhje, qeramikë.




